羲之,中國曝光機精度逼近 卻難量產
2025-08-30 14:05:25 代妈费用
只能依賴 DUV,中國之精無法取得最先進的曝光 EUV 機台 ,中國正積極尋找本土化解方
。機羲近中芯國際的度逼代妈最高报酬多少 5 奈米量產因此受阻 ,
- China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,難量 But Limited to Research Applications,【代妈25万到30万起】 Not Mass Production
(首圖來源 :中國杭州人民政府)
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外媒報導 ,最快今年第三季展開試產;如今浙江大學又帶來 EBL 新設備 。並透過多重圖案化技術(multiple patterning)推進製程,【代妈官网】
浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」,